Softwall cleanroom - Halfgeleider applicatie - UV
Deze UV compatibel softwall cleanroom is toegepast om een bestaande kantoor/laboratorium omgeving geschikt te maken voor een onderdeel van een pilot line halfgeleider fabricageproces. Een economische benadering is gekozen door alleen de kritische processen in de compacte mobiele cleanroom te plaatsen. In de softwall cleanroom is een mask aligner geplaatst ten behoeve van fotolithografische processen. Een eis was om UV licht met een gespecificeerde bandbreedte te filteren welke schadelijk zijn voor het proces. De cleanroom is hiervoor geleverd met UV-werende softwall strips, geblindeerd plafond en speciale UV compatible (de typisch gele) verlichting aan de binnenzijde. Geleverd op wielen met rem voor maximale mobiliteit.
Eigenschappen softwall cleanroom:
- ISO klasse 5 (ISO 14644-part 1)
- 340 luchtwisselingen per uur d.m.v. 2 stuks HEPA filters
- 1,8 x 1,8 x 2,1 m (l x b x int. h)
- Robuust gepoedercoat stalen frame
- Staat op 4 stuks poten voorzien van wielen met rem
- UV compatible softwall strips rondom
- UV compatible interne verlichting
- geblindeerd plafond
- geleverd binnen 2 weken na opdracht
- geinstalleerd en gevalideerd ruimschoots binnen 1 dag
